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はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 工業調査会, 2003. -- (ビギナーズブックス ; 29). <BB21230617>
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はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 工業調査会, 2003. -- (ビギナーズブックス ; 29). <BB21230617>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.本館2F開架 549.7/オシハ 30305024402 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.本館2F開架
請求記号 549.7/オシハ
資料ID 30305024402
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
Web書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 2003.6
形態事項 305p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 4769312245
書誌構造リンク ビギナーズブックス||ビギナーズ ブックス <BB11004347> 29//a
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NCID BA62674459
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 岡崎, 信次||オカザキ, シンジ <AU00282615>
著者標目リンク 鈴木, 章義||スズキ, アキヨシ <AU00282616>
著者標目リンク 上野, 巧||ウエノ, タクミ <AU00282617>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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