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ULSIプロセス技術

原央編. -- 培風館, 1997. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 17). <BB20559175>
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ULSIプロセス技術

原央編. -- 培風館, 1997. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 17). <BB20559175>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 549.08/アトハ/1-17 39700087805 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 549.08/アトハ/1-17
資料ID 39700087805
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 ULSIプロセス技術 / 原央編
ULSI プロセス ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 培風館 , 1997.6
形態事項 x, 286p ; 22cm
巻号情報
ISBN 456303617X
書誌構造リンク アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修||アドバンスト エレクトロニクス シリーズ <BB10004928> カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス||エレクトロニクス ザイリョウ ブッセイ デバイス ; 17//aa
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注記 執筆: 有門経敏ほか
注記 参考文献: 各章末
注記 索引あり
NCID BA30760470
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 原, 央||ハラ, ヒサシ <AU00045672>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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