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超微細加工技術

応用物理学会編 ; 徳山巍編著. -- オーム社, 1997. -- (応用物理学シリーズ / 応用物理学会編 ; 専門コース). <BB21051837>
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超微細加工技術

応用物理学会編 ; 徳山巍編著. -- オーム社, 1997. -- (応用物理学シリーズ / 応用物理学会編 ; 専門コース). <BB21051837>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.本館2F開架 573.5/トタチ 39900002407 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.本館2F開架
請求記号 573.5/トタチ
資料ID 39900002407
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 超微細加工技術 / 応用物理学会編 ; 徳山巍編著
チョウビサイ カコウ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : オーム社 , 1997.2
形態事項 xiv, 309p ; 22cm
巻号情報
ISBN 427402332X
書誌構造リンク 応用物理学シリーズ / 応用物理学会編||オウヨウ ブツリガク シリーズ <BB10000341> 専門コース||センモン コース//a
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注記 参考文献: 各章末
注記 索引: p[305]-309
注記 執筆: 徳山巍ほか
NCID BN15970232
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 応用物理学会||オウヨウ ブツリ ガッカイ <AU00023682>
著者標目リンク 徳山, 巍(1929-)||トクヤマ, タカシ <AU00046937>
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
分類標目 窯業．珪酸塩化学工業 NDC8:573.5
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:PA241
件名標目等 ガラス||ガラス
件名標目等 ガラス製品||ガラスセイヒン
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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