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ウルトラクリーンULSI技術

大見忠弘著. -- 培風館, 1995. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 15). <BB20421162>
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ウルトラクリーンULSI技術

大見忠弘著. -- 培風館, 1995. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 15). <BB20421162>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 549.08/アトハ/1-15 39500254610 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 549.08/アトハ/1-15
資料ID 39500254610
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 ウルトラクリーンULSI技術 / 大見忠弘著
ウルトラクリーン ULSI ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 培風館 , 1995.12
形態事項 xi, 366p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4563036153
書誌構造リンク アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修||アドバンスト エレクトロニクス シリーズ <BB10004928> カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス||エレクトロニクス ザイリョウ ・ ブッセイ ・ デバイス ; 15//aa
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その他の標題 異なりアクセスタイトル:ウルトラクリーンULSI技術
ウルトラ クリーン ULSI ギジュツ
注記 参考文献: 各章末
NCID BN13643698
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 大見, 忠弘(1939-)||オオミ, タダヒロ <AU00163959>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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