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VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決

垂井康夫監修 ; 小林稔, 中島蕃著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB20228154>
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VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決

垂井康夫監修 ; 小林稔, 中島蕃著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB20228154>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 549.7/コミフ 39300033878 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 549.7/コミフ
資料ID 39300033878
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
Web書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決 / 垂井康夫監修 ; 小林稔, 中島蕃著
VLSI プロセス ギジュツ : コウブドマリ ノ タメ ノ モンダイテン ト ソノ カイケツ
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1993.6
形態事項 iv, 4, 143, 2p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4526033383
NCID BN09282610
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 小林, 稔(1932-)||コバヤシ, ミノル <AU00093534>
著者標目リンク 中島, 蕃||ナカジマ, シゲル <AU00093535>
著者標目リンク 垂井, 康夫(1929-)||タルイ, ヤスオ <AU00041728>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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