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スパッタ薄膜 : 基礎と応用

小林春洋著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB20217097>
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スパッタ薄膜 : 基礎と応用

小林春洋著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB20217097>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 549/コハス 39300041151 一般 0件
0002 瀬田.自動化書庫 549/コハス 39300000060 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 549/コハス
資料ID 39300041151
コメント
状態
禁帯出区分 一般
予約 0件
Web書棚
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 549/コハス
資料ID 39300000060
コメント
状態
禁帯出区分 一般
予約 0件
Web書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 スパッタ薄膜 : 基礎と応用 / 小林春洋著
スパッタ ハクマク : キソ ト オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1993.2
形態事項 v, 172, viip ; 21cm
巻号情報
ISBN 4526032735
NCID BN08694157
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 小林, 春洋(1925-)||コバヤシ, ハルヒロ <AU00087379>
分類標目 電子工学 NDC8:549
件名標目等 薄膜||ハクマク
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