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サブミクロン・リソグラフィ総合技術資料集

北山豊樹[ほか]編. -- サイエンスフォーラム, 1985. <BB20088122>
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北山豊樹[ほか]編. -- サイエンスフォーラム, 1985. <BB20088122>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 549.7/キトサ 38940170085 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 549.7/キトサ
資料ID 38940170085
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 サブミクロン・リソグラフィ総合技術資料集 / 北山豊樹[ほか]編
サブミクロン・リソグラフィ ソウゴウ ギジュツ シリョウシュウ
出版・頒布事項 東京 : サイエンスフォーラム , 1985.3
形態事項 540p ; 31cm
注記 監修:難波進
注記 限定版
注記 各章末:参考文献
NCID BN02123266
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 北山, 豊樹||キタヤマ, トヨキ <AU00048256>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
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