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微細加工とレジスト

野々垣三郎著. -- 共立出版, 1987. -- (高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3). <BB20561928>
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野々垣三郎著. -- 共立出版, 1987. -- (高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3). <BB20561928>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 深草.8号館閉架3F 549.7/ノサヒ-B 19700060160 一般 0件
巻号
所蔵館 深草
配置場所 深草.8号館閉架3F
請求記号 549.7/ノサヒ-B
資料ID 19700060160
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
Web書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 微細加工とレジスト / 野々垣三郎著
ビサイ カコウ ト レジスト
出版・頒布事項 東京 : 共立出版 , 1987.11
形態事項 iv, 99p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4320042271
書誌構造リンク 高分子新素材one point / 高分子学会編||コウブンシ シンソザイ one point <BB10016366> 3//b
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NCID BN01734322
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 野々垣, 三郎||ノノガキ, サブロウ <AU00063627>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 電子光学||デンシコウガク
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