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VLSIの薄膜技術

伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著. -- 丸善, 1986. -- (電子材料シリーズ). <BB20366625>
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VLSIの薄膜技術

伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著. -- 丸善, 1986. -- (電子材料シリーズ). <BB20366625>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 549.7/イタウ 38840222438 一般 0件
0002 7 深草.8号館閉架3F 549/テンシ-B/7 19551983640 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 549.7/イタウ
資料ID 38840222438
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
Web書棚
巻号 7
所蔵館 深草
配置場所 深草.8号館閉架3F
請求記号 549/テンシ-B/7
資料ID 19551983640
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
Web書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 VLSIの薄膜技術 / 伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著
VLSI ノ ハクマク ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 丸善 , 1986.9
形態事項 xii, 250p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4621031120
書誌構造リンク 電子材料シリーズ||デンシ ザイリョウ シリーズ <BB10015298>//a
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注記 各章末:文献
NCID BN00435789
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 伊藤, 隆司||イトウ, タカシ <AU00122127>
著者標目リンク 石川, 元||イシカワ, ハジメ <AU00146873>
著者標目リンク 中村, 宏昭||ナカムラ, ヒロアキ <AU00146874>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 薄膜||ハクマク
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 薄膜||ハクマク
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