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微細加工のはなし

高梨明紘著. -- 日刊工業新聞社, 1986. -- (Science and technology). <BB20140646>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 549.7/タアヒ 38940000272 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 549.7/タアヒ
資料ID 38940000272
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 微細加工のはなし / 高梨明紘著
ビサイ カコウ ノ ハナシ
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1986.4
形態事項 159p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4526020184
書誌構造リンク Science and technology <BB10000068>//a
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注記 各章末:文献
NCID BN00356285
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 高梨, 明紘||タカナシ, アキヒロ <AU00062699> 著
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 機械工作||キカイコウサク