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プラズマと成膜の基礎

小沼光晴著. -- 日刊工業新聞社, 1986. <BB20229082>
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プラズマと成膜の基礎

小沼光晴著. -- 日刊工業新聞社, 1986. <BB20229082>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 427.6/コミフ 39300041140 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 427.6/コミフ
資料ID 39300041140
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
Web書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著
プラズマ ト セイマク ノ キソ
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1986.8
形態事項 iv, 202, iiip ; 22cm
巻号情報
ISBN 4526020656
注記 各章末: 文献
NCID BN00233219
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 小沼, 光晴(1950-)||コヌマ, ミツハル <AU00094023>
分類標目 電磁気学 NDC8:427.6
分類標目 物理化学．理論化学 NDC8:431.7
分類標目 NDC7:427.5
件名標目等 プラズマ||プラズマ
件名標目等 プラズマ||プラズマ
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