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入門真空・薄膜・スパッタリング
R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳. -- 技報堂出版, 1985. <BB20145948>
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入門真空・薄膜・スパッタリング
R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳. -- 技報堂出版, 1985. <BB20145948>
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配置場所
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0001
瀬田.自動化書庫
571/スアニ
38840087105
一般
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巻号
所蔵館
瀬田
配置場所
瀬田.自動化書庫
請求記号
571/スアニ
資料ID
38840087105
コメント
状態
禁帯出区分
一般
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書誌詳細
標題および責任表示
入門真空・薄膜・スパッタリング / R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳
ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング
出版・頒布事項
東京 : 技報堂出版 , 1985.10
形態事項
2,2,3,145p ; 22cm
巻号情報
ISBN
4765503585
その他の標題
原タイトル:Vacuum technology, thin films, and sputtering
その他の標題
異なりアクセスタイトル:真空・薄幕・スパッタリング : 入門
シンクウ ハクマク スパッタリング : ニュウモン
NCID
BN00148324
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
Stuart, R. V. <AU00051931> 著
著者標目リンク
毛利, 衛||モウリ, マモル <AU00041395>
著者標目リンク
数坂, 昭夫||カズサカ, アキオ <AU00064682>
分類標目
流体機械.流体工学 NDC8:534.93
分類標目
科学技術 NDLC:NB126
件名標目等
真空工学||シンクウコウガク
件名標目等
薄膜||ハクマク
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科学技術 NDLC:NB126
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