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超並列電子ビーム描画装置の開発 : 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して
江刺正喜 [ほか] 著. -- 東北大学出版会, 2018. <BB32078711>
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超並列電子ビーム描画装置の開発 : 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して
江刺正喜 [ほか] 著. -- 東北大学出版会, 2018. <BB32078711>
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1件~1件(全1件)
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10件
20件
50件
100件
No.
巻号
配置場所
請求記号
資料ID
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状態
禁帯出区分
予約
Web書棚
0001
瀬田.本館2F開架
549.1/エマチ
31900000111
一般
0件
予約
Web書棚
巻号
所蔵館
瀬田
配置場所
瀬田.本館2F開架
請求記号
549.1/エマチ
資料ID
31900000111
コメント
状態
禁帯出区分
一般
返却予定日
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書誌詳細
標題および責任表示
超並列電子ビーム描画装置の開発 : 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して / 江刺正喜 [ほか] 著
チョウヘイレツ デンシ ビーム ビョウガ ソウチ ノ カイハツ : シュウセキ カイロ ノ ディジタル ファブリケーション オ メザシテ
出版・頒布事項
仙台 : 東北大学出版会 , 2018.6
形態事項
vii, 228p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN
9784861632969
その他の標題
その他のタイトル:Development of massive parallel electron beam write system : aiming at digital fabrication of integrated circuits
その他の標題
異なりアクセスタイトル:超並列電子ビーム描画装置の開発 : 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して
チョウ ヘイレツ デンシ ビーム ビョウガ ソウチ ノ カイハツ : シュウセキ カイロ ノ ディジタル ファブリケーション オ メザシテ
注記
その他のタイトルは標題紙裏による
注記
その他の著者: 宮口裕, 小島明, 池上尚克, 越田信義, 菅田正徳, 大井英之
注記
関係発表文献一覧: p217-223
注記
参考文献: 各章末
NCID
BB26418124
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
江刺, 正喜(1949-)||エサシ, マサヨシ <AU00063123>
著者標目リンク
宮口, 裕
ミヤグチ, ヒロシ <>
著者標目リンク
小島, 明
コジマ, アキラ <>
著者標目リンク
池上, 尚克
イケガミ, ナオカツ <>
著者標目リンク
越田, 信義||コシダ, ノブヨシ <AU00013735>
著者標目リンク
菅田, 正徳
スガタ, マサノリ <>
著者標目リンク
大井, 英之
オオイ, ヒデユキ <>
分類標目
電子工学 NDC8:549.1
分類標目
電子工学 NDC9:549.1
分類標目
電子工学 NDC10:549.1
件名標目等
電子線||デンシセン
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