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ポストシリコン半導体 : ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果

エヌ・ティー・エス, 2013. <BB21560367>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.本館2F開架 549.8/ホスト 31400017848 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.本館2F開架
請求記号 549.8/ホスト
資料ID 31400017848
コメント
状態
禁帯出区分 一般
予約 0件
Web書棚

書誌詳細

標題および責任表示 ポストシリコン半導体 : ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果
ポスト シリコン ハンドウタイ : ナノ セイマク ダイナミクス ト キバン カイメン コウカ
出版・頒布事項 東京 : エヌ・ティー・エス , 2013.6
形態事項 2, 10, 510, 15p, 図版18p : 挿図 ; 27cm
巻号情報
ISBN 9784864690591
その他の標題 異なりアクセスタイトル:ポストシリコン半導体 : ナノ成膜ダイナミクスと基板界面効果
ポスト シリコン ハンドウタイ : ナノ セイマク ダイナミクス ト キバン カイメン コウカ
注記 文献: 各節末
NCID BB12654468
本文言語コード 日本語