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ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜・界面の物性科学

岩井洋 [ほか著]. -- エヌ・ティー・エス, 2012. <BB21535375>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.本館2F開架 549.8/ナノエ 31300018288 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.本館2F開架
請求記号 549.8/ナノエ
資料ID 31300018288
コメント
状態
禁帯出区分 一般
予約 0件
Web書棚

書誌詳細

標題および責任表示 ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜・界面の物性科学 / 岩井洋 [ほか著]
ナノエレクトロニクス ニ オケル ゼツエン チョウハクマク ギジュツ : セイマク ギジュツ ト マク カイメン ノ ブッセイ カガク
出版・頒布事項 東京 : エヌ・ティー・エス , 2012.7
形態事項 22, 2, 4, 338, 11p : 挿図 ; 27cm
巻号情報
ISBN 9784864690393
その他の標題 背表紙タイトル:ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術
ナノエレクトロニクス ニ オケル ゼツエン チョウハクマク ギジュツ
その他の標題 異なりアクセスタイトル:ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜界面の物性科学
ナノエレクトロニクス ニ オケル ゼツエン チョウハクマク ギジュツ : セイマク ギジュツ ト マク カイメン ノ ブッセイ カガク
その他の標題 VT:絶縁超薄膜技術 : ナノエレクトロニクスにおける : 成膜技術と膜・界面の物性科学
ゼツエン チョウハクマク ギジュツ : ナノエレクトロニクス ニオケル : セイマク ギジュツ ト マク・カイメン ノ ブッセイ カガク
注記 著者のヨミは推定による
注記 参考・引用文献: 各章末
NCID BB09682498
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 岩井, 洋
イワイ, ヒロシ <>