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From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications

Marc J. Madou ; : hardback. -- 3rd ed. -- CRC Press, 2012. -- (Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou ; v. 3). <BB21485214>
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From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications

Marc J. Madou ; : hardback. -- 3rd ed. -- CRC Press, 2012. -- (Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou ; v. 3). <BB21485214>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 : hardback 瀬田.新館2F開架 621.38/FUN/3 31105049443 一般 0件
巻号 : hardback
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.新館2F開架
請求記号 621.38/FUN/3
資料ID 31105049443
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications / Marc J. Madou
版事項 3rd ed
出版・頒布事項 Boca Raton : CRC Press , c2012
形態事項 xiii, 636 p. : ill. (some col.), ports. ; 29 cm
巻号情報
巻次等 : hardback
ISBN 9781420055160
書誌構造リンク Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou <BB21485212> v. 3//b
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注記 Includes bibliographical references and index
注記 "This third edition of Fundamentals of microfabrication"--P. [v]
NCID BB06583387
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Madou, Marc J. <AU00381131>
分類標目 LCC:TP248.25.B54
分類標目 DC22:621.381
件名標目等 BioMEMS
件名標目等 Nanoelectromechanical systems
件名標目等 Nanotechnology
件名標目等 Biotechnology
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