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マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術

吉村長光著. -- エヌ・ティー・エス, 2003. <BB21237480>
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マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術

吉村長光著. -- エヌ・ティー・エス, 2003. <BB21237480>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.本館2F開架 549.2/ヨナマ 30300110713 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.本館2F開架
請求記号 549.2/ヨナマ
資料ID 30300110713
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
Web書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術 / 吉村長光著
マイクロ ナノ デンシ ビーム ソウチ ニオケル シンクウ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : エヌ・ティー・エス , 2003.12
形態事項 6, 338, 2, 10p : 挿図 ; 26cm
巻号情報
ISBN 4860430395
その他の標題 異なりアクセスタイトル:マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術
マイクロ・ナノ デンシ ビーム ソウチ ニ オケル シンクウ ギジュツ
注記 監修: 岡野達雄
注記 参考・引用文献: 各章末
NCID BA6508397X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 吉村, 長光||ヨシムラ, ナガミツ <AU00284388>
分類標目 流体機械．流体工学 NDC9:534.93
分類標目 科学技術 NDLC:NB126
件名標目等 真空技術||シンクウギジュツ
件名標目等 電子線||デンシセン
件名標目等 真空工学||シンクウコウガク
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