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イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等

平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員. -- イオン工学研究所, 2003. <BB21224213>
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イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等

平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員. -- イオン工学研究所, 2003. <BB21224213>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.本館2F開架 549.1/ヒタイ 30300059380 一般 0件
0002 瀬田.本館2F開架 549.1/ヒタイ 30300098731 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.本館2F開架
請求記号 549.1/ヒタイ
資料ID 30300059380
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
Web書棚
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.本館2F開架
請求記号 549.1/ヒタイ
資料ID 30300098731
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等 / 平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員
イオン コウガク ハンド ブック : ナノ テクノロジー エノ ミチ オ ヒラク : ハクマク ゴウセイ カコウ イオン チュウニュウ ヒョウメン カイシツ デバイス オウヨウ マイクロ マシン トウ
出版・頒布事項 枚方 : イオン工学研究所 , 2003.5
形態事項 xviii, 1126p ; 27cm
その他の標題 異なりアクセスタイトル:ナノテクノロジーへの道を拓くイオン工学ハンドブック
ナノ テクノロジー エノ ミチ オ ヒラク イオン コウガク ハンド ブック
注記 監修: 水野博之
注記 その他の編集委員: 尾浦憲治郎 , 鯉沼秀臣, 笹部馨, 松波弘之
注記 参考文献あり
NCID BA63759670
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 平尾, 孝||ヒラオ, タカシ <AU00064931>
著者標目リンク 岩本, 信也||イワモト, ノブヤ <AU00062783>
著者標目リンク 尾浦, 憲治郎(1941-)||オウラ, ケンジロウ <AU00280960>
著者標目リンク 鯉沼, 秀臣||コイヌマ, ヒデオミ <AU00280961>
著者標目リンク 笹部, 馨
ササベ, カオル <>
著者標目リンク 松波, 弘之(1939-)||マツナミ, ヒロユキ <AU00064148>
著者標目リンク 水野, 博之||ミズノ, ヒロユキ <AU00062676>
分類標目 電子工学 NDC9:549.1
分類標目 科学技術 NDLC:ND351
件名標目等 イオン||イオン
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