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Characterization and metrology for ULSI technology : 2000 international conference, Gaithersburg, Maryland, 26-29 June 2000

editors David G. Seiler ... [et al.]. -- American Institute of Physics, 2001. -- (AIP conference proceedings ; 550). <BB21132963>
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Characterization and metrology for ULSI technology : 2000 international conference, Gaithersburg, Maryland, 26-29 June 2000

editors David G. Seiler ... [et al.]. -- American Institute of Physics, 2001. -- (AIP conference proceedings ; 550). <BB21132963>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.新館2F開架 621.38/SEI 30100050886 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.新館2F開架
請求記号 621.38/SEI
資料ID 30100050886
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Characterization and metrology for ULSI technology : 2000 international conference, Gaithersburg, Maryland, 26-29 June 2000 / editors David G. Seiler ... [et al.]
出版・頒布事項 New York : American Institute of Physics , c2001
形態事項 xv, 708 p. : ill. ; 28 cm + 1 computer disk
巻号情報
ISBN 156396967X
書誌構造リンク AIP conference proceedings <BB10029638> 550//a
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注記 Includes bibliographical references and index
NCID BA52082125
本文言語コード 英語
ISSN 0094243X
著者標目リンク Seiler, David G. <AU00237999>
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