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Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries , 30-31 July 2000, San Diego, USA

Ghanim A. Al-Jumaily, ... [et al.] chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering. -- SPIE--the International Society for Optical Engineering, 2000. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 4099). <BB21155463>
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Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries , 30-31 July 2000, San Diego, USA

Ghanim A. Al-Jumaily, ... [et al.] chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering. -- SPIE--the International Society for Optical Engineering, 2000. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 4099). <BB21155463>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.新館2F開架 621.38/ALJ 30100142397 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.新館2F開架
請求記号 621.38/ALJ
資料ID 30100142397
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries , 30-31 July 2000, San Diego, USA / Ghanim A. Al-Jumaily, ... [et al.] chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版・頒布事項 Bellingham, Wash., USA : SPIE--the International Society for Optical Engineering , c2000
形態事項 ix , 328 p. : ill. ; 28 cm
巻号情報
ISBN 0819437441
書誌構造リンク Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering <BB10019731> v. 4099//a
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注記 Includes bibliographical references and index
NCID BA49673994
本文言語コード 英語
著者標目リンク Al-Jumaily, Ghanim A. <>
著者標目リンク Duparré, Angela <>
著者標目リンク Singh, Bhanwar, 1952- <AU00262569>
著者標目リンク Society of Photo-optical Instrumentation Engineers <AU00056779>
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