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Characterization and metrology for ULSI technology : 1998 international conference, Gaithersburg, Maryland March 1998

editors David G. Seiler ... [et al.] ; set, print, CD-ROM. -- American Institute of Physics, 1998. -- (AIP conference proceedings ; 449). <BB21103403>
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Characterization and metrology for ULSI technology : 1998 international conference, Gaithersburg, Maryland March 1998

editors David G. Seiler ... [et al.] ; set, print, CD-ROM. -- American Institute of Physics, 1998. -- (AIP conference proceedings ; 449). <BB21103403>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.新館2F開架 621.38/SEI 30000068726 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.新館2F開架
請求記号 621.38/SEI
資料ID 30000068726
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Characterization and metrology for ULSI technology : 1998 international conference, Gaithersburg, Maryland March 1998 / editors David G. Seiler ... [et al.]
出版・頒布事項 New York : American Institute of Physics , c1998
形態事項 xv, 960 p. : ill. ; 28 cm + 1 computer disk
巻号情報
巻次等 set
ISBN 1563967537
巻号情報
巻次等 print
ISBN 1563968673
巻号情報
巻次等 CD-ROM
ISBN 1563968681
書誌構造リンク AIP conference proceedings <BB10029638> 449//a
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注記 Includes bibliographical references and index
注記 "DOE CONF-980364"--T.p. verso
注記 "The 1998 International Conference on Characterization and Metrology for ULSI Technology was held at the National Institute of Standards and Technology from March 23 to March 27, 1998."-pref.
NCID BA40663222
本文言語コード 英語
ISSN 0094243X
著者標目リンク Seiler, David G. <AU00237999>
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