龍谷大学図書館

ログイン

  • 目録検索 目録検索 ▼
  • 利用者サービス MyLibraryメニュー ▼
    • 利用状況の確認
    • ブックマーク
    • お気に入り検索
    • グループワークルーム予約
    • 新着アラート
    • ILL複写依頼
    • ILL貸借依頼
    • 図書購入希望

龍谷大学図書館

検索結果一覧へ戻る

半導体平坦化CMP技術 : 超LSI製造のキープロセス

土肥俊郎, 河西敏雄, 中川威雄著. -- 工業調査会, 1998. -- (K books ; 134). <BB21055379>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
目次・あらすじを見る 詳細情報を見る
書誌URL：

半導体平坦化CMP技術 : 超LSI製造のキープロセス

土肥俊郎, 河西敏雄, 中川威雄著. -- 工業調査会, 1998. -- (K books ; 134). <BB21055379>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
目次・あらすじを見る 詳細情報を見る
書誌URL：

所蔵一覧 1件～1件（全1件）

ナンバーをクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.本館2F開架 549.7/トトハ 39900016654 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.本館2F開架
請求記号 549.7/トトハ
資料ID 39900016654
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
Web書棚
このページのTOPへ
このページのTOPへ

書誌詳細

標題および責任表示 半導体平坦化CMP技術 : 超LSI製造のキープロセス / 土肥俊郎, 河西敏雄, 中川威雄著
ハンドウタイ ヘイタンカ CMP ギジュツ : チョウ LSI セイゾウ ノ キー プロセス
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1998.7
形態事項 307p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4769311648
書誌構造リンク K books <BB10000429> 134//a
　>>シリーズで再検索する
注記 参考文献: 章末
NCID BA36801173
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 土肥, 俊郎||ドイ, トシロウ <AU00164731>
著者標目リンク 河西, 敏雄||カワニシ, トシオ <AU00164730>
著者標目リンク 中川, 威雄||ナカガワ, タケオ <AU00234312>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
このページのTOPへ
検索結果一覧へ戻る
このページのTOPへ

  • 関連情報

    関連資料

    他の検索サイトで探す

    他大学資料確認

    資料を取り寄せる

    • ILL複写依頼(コピー取り寄せ)
    • ILL貸借依頼(現物借用)

    購入希望

    この書誌のQRコード