龍谷大学図書館

マイクロ加工の物理と応用

吉田善一著. -- 裳華房, 1998. -- (応用物理学選書 ; 8). <BB21016375>
登録タグ:
登録されているタグはありません
書誌URL:

所蔵一覧 1件~1件(全1件)

No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 501.2/オウヨ/8 39800048217 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 501.2/オウヨ/8
資料ID 39800048217
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
Web書棚

書誌詳細

標題および責任表示 マイクロ加工の物理と応用 / 吉田善一著
マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 裳華房 , 1998.3
形態事項 x, 234p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4785325089
書誌構造リンク 応用物理学選書||オウヨウ ブツリガク センショ <BB11001074> 8//a
 >>シリーズで再検索する
その他の標題 その他のタイトル:The physics and technology of microfabrication
注記 欧文標題は標題紙裏による
注記 付: 参考文献, 参考書
NCID BA35144601
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 吉田, 善一(1957-)||ヨシダ, ヨシカズ <AU00225090>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 電子光学||デンシコウガク
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 機械工作||キカイコウサク