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Process engineering analysis in semiconductor device fabrication

Stanley Middleman, Arthur K. Hochberg. -- McGraw-Hill, 1993. -- (McGraw-Hill chemical engineering series). <BB21281381>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.新館2F開架 621.38/MID 30400094168 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.新館2F開架
請求記号 621.38/MID
資料ID 30400094168
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Process engineering analysis in semiconductor device fabrication / Stanley Middleman, Arthur K. Hochberg
出版・頒布事項 New York : McGraw-Hill , c1993
形態事項 xvii, 774 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 0070418535
書誌構造リンク McGraw-Hill chemical engineering series <BB11011034>//a
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注記 Includes bibliographical references and index
NCID BA29252530
著者標目リンク *Middleman, Stanley <AU00296461>
著者標目リンク Hochberg, Arthur K. <AU00296462>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC20:621.3815/2
件名標目等 Semiconductors -- Design and construction
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