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The science and engineering of microelectronic fabrication

Stephen A. Campbell ; : cloth. -- Oxford University Press, 1996. -- (Oxford series in electrical engineering). <BB21275100>
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Stephen A. Campbell ; : cloth. -- Oxford University Press, 1996. -- (Oxford series in electrical engineering). <BB21275100>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.新館2F開架 621.38/CAM 30400078465 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.新館2F開架
請求記号 621.38/CAM
資料ID 30400078465
コメント
状態
禁帯出区分 一般
予約 0件
Web書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 The science and engineering of microelectronic fabrication / Stephen A. Campbell
出版・頒布事項 New York : Oxford University Press , 1996
形態事項 xv, 536 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
巻次等 : cloth
ISBN 0195105087
書誌構造リンク Oxford series in electrical engineering <BB21275098>//a
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注記 Includes bibliographical references and index
NCID BA27380085
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Campbell, Stephen A., 1954- <AU00293640>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC20:621.3815/2
件名標目等 Semiconductors -- Design and construction
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