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Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing

editors, Gregg S. Higashi, Eugene A. Irene, Tadahiro Ohmi. -- Materials Research Society, 1993. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 315). <BB21281353>
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Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing

editors, Gregg S. Higashi, Eugene A. Irene, Tadahiro Ohmi. -- Materials Research Society, 1993. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 315). <BB21281353>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.新館2F開架 621.38/HIG 30400094033 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.新館2F開架
請求記号 621.38/HIG
資料ID 30400094033
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing / editors, Gregg S. Higashi, Eugene A. Irene, Tadahiro Ohmi
出版・頒布事項 Pittsburgh, PA : Materials Research Society , 1993
形態事項 xi, 518 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 1558992138
書誌構造リンク Materials Research Society symposium proceedings <BB10001251> v. 315//a
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注記 Symposium Y held during the 1993 Spring Meeting of the Materials Research Society, in San Francisco from April 13-15, 1993
注記 Includes bibliographical references and index
NCID BA22970911
本文言語コード 英語
著者標目リンク Higashi, Gregg S. <AU00296448>
著者標目リンク Irene, Eugene A. <AU00296449>
著者標目リンク Ohmi, Tadahiro, 1939- <AU00296450>
著者標目リンク Materials Research Society. Meeting (1993 : San Francisco, Calif.). Symposium Y <>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC20:621.3815/2
件名標目等 Semiconductors -- Design and construction -- Congresses
件名標目等 Surface preparation -- Congresses
件名標目等 Semiconductors -- Cleaning -- Congresses
件名標目等 Surface chemistry -- Congresses
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