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Materials aspects of x-ray lithography : symposium held April 12-14, 1993, San Francisco, California, U.S.A.

editors, George K. Celler, Juan R. Maldonado. -- Materials Research Society, 1993. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 306). <BB21275104>
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Materials aspects of x-ray lithography : symposium held April 12-14, 1993, San Francisco, California, U.S.A.

editors, George K. Celler, Juan R. Maldonado. -- Materials Research Society, 1993. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 306). <BB21275104>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.新館2F開架 621.38/CEL 30400078476 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.新館2F開架
請求記号 621.38/CEL
資料ID 30400078476
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Materials aspects of x-ray lithography : symposium held April 12-14, 1993, San Francisco, California, U.S.A. / editors, George K. Celler, Juan R. Maldonado
出版・頒布事項 Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society , 1993
形態事項 xi, 291 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 1558992022
書誌構造リンク Materials Research Society symposium proceedings <BB10001251> v. 306//a
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注記 Papers based on the symposium on Materials Aspects of X-Ray Lithography, held in San Francisco, California, on April 12-14, 1993
注記 Includes bibliographical references and indexes
NCID BA21386704
本文言語コード 英語
著者標目リンク Celler, George K. <AU00293641>
著者標目リンク Maldonado, Juan R. <AU00293642>
著者標目リンク Materials Research Society <AU00025866>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC20:621.3815/31
件名標目等 X-ray lithography -- Congresses
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