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The physics and chemistry of SiO[2] and the Si-SiO[2] interface 2

edited by C. Robert Helms and Bruce E. Deal. -- Plenum Press, 1993. <BB20235066>
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The physics and chemistry of SiO[2] and the Si-SiO[2] interface 2

edited by C. Robert Helms and Bruce E. Deal. -- Plenum Press, 1993. <BB20235066>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 546/HEL 39300063454 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 546/HEL
資料ID 39300063454
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
Web書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 The physics and chemistry of SiO[2] and the Si-SiO[2] interface 2 / edited by C. Robert Helms and Bruce E. Deal
出版・頒布事項 New York : Plenum Press , c1993
形態事項 xvi , 503p. ; 26cm
巻号情報
ISBN 0306444194
注記 Proceedings of the Second Symposium on the Physics and Chemistry of the SiO[2] and Si-SiO[2] Interface, held May 18-21, 1992, in St. Louis, Missouri, sponsored by the Electronics Division and the Dielectric Science and Technology Division of the Electrochemical Society
注記 Includes bibliographical references and index
NCID BA21102079
本文言語コード 英語
著者標目リンク Helms, C. Robert <AU00097425>
著者標目リンク Deal, Bruce E. <AU00097426>
著者標目リンク Electrochemical Society. Electronics Division <AU00097427>
著者標目リンク Electrochemical Society. Dielectric Science and Technology Division <AU00097428>
著者標目リンク Symposium on the Physics and Chemistry of the SiO[2] and Si-SiO[2] Interface (2nd : 1992 : St. Louis, Mo.) <>
分類標目 LCC:QC585.75.S55
分類標目 DC20:546/.6832
件名標目等 Silica -- Surfaces -- Congresses
件名標目等 Dielectrics -- Surfaces -- Congresses
件名標目等 Silicon dioxide films -- Congresses
件名標目等 Surface chemistry -- Congresses
件名標目等 Surfaces (Technology) -- Congresses
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