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The physics of submicron lithography

Kamil A. Valiev. -- Plenum Press, 1992. -- (Microdevices). <BB20229475>
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The physics of submicron lithography

Kamil A. Valiev. -- Plenum Press, 1992. -- (Microdevices). <BB20229475>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 621.38/VAL 39300048626 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 621.38/VAL
資料ID 39300048626
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
Web書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 The physics of submicron lithography / Kamil A. Valiev
出版・頒布事項 New York : Plenum Press , c1992
形態事項 xi, 493 p. : ill. ; 26 cm
巻号情報
ISBN 0306435780
書誌構造リンク Microdevices <BB10001337>//a
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注記 Includes bibliographical references and index
NCID BA1847061X
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Valiev, Kamilʹ Akhmetovich <AU00094236>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC20:621.381/531
件名標目等 Lithography, Electron beam
件名標目等 X-ray lithography
件名標目等 Ion beam lithography
件名標目等 Physics
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