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Ion implantation and beam processing

edited by J.S. Williams, J.M. Poate. -- Academic Press, 1984. <BB20108196>
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Ion implantation and beam processing

edited by J.S. Williams, J.M. Poate. -- Academic Press, 1984. <BB20108196>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 621.38/WIL 38840153424 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 621.38/WIL
資料ID 38840153424
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
Web書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Ion implantation and beam processing / edited by J.S. Williams, J.M. Poate
出版・頒布事項 Sydney ; New York : Academic Press , 1984
形態事項 xi, 419 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0127569804
注記 Includes bibliographical references and index
NCID BA06909986
本文言語コード 英語
著者標目リンク Williams, J. S. (James Stanislaus) <AU00366371>
著者標目リンク Poate, J. M. <AU00057653>
分類標目 LCC:QC702.7.I55
分類標目 DC19:621.3815/2
件名標目等 Ion implantation
件名標目等 Ion bombardment
件名標目等 Semiconductor doping
件名標目等 Electron beams
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