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Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators

Ian W. Boyd ; : U.S., : Germany. -- Springer-Verlag, 1987. -- (Springer series in materials science ; v. 3). <BB20113729>
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Ian W. Boyd ; : U.S., : Germany. -- Springer-Verlag, 1987. -- (Springer series in materials science ; v. 3). <BB20113729>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 : U.S. 瀬田.自動化書庫 621.36/BOY 38840209443 一般 0件
巻号 : U.S.
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 621.36/BOY
資料ID 38840209443
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators / Ian W. Boyd
出版・頒布事項 Berlin ; New York : Springer-Verlag , c1987
形態事項 viii, 320 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
巻次等 : U.S.
ISBN 0387179518
巻号情報
巻次等 : Germany
ISBN 3540179518
書誌構造リンク Springer series in materials science <BB10002800> v. 3//a
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注記 Bibliography: p. 287-313
注記 Includes index
NCID BA01434688
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Boyd, Ian W. <AU00369291>
分類標目 LCC:TA1677
分類標目 DC19:621.36/6
件名標目等 Lasers -- Industrial applications
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