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Lithography for VLSI

edited by Norman G. Einspruch, R.K. Watts. -- Academic Press, 1987. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; v. 16). <BB21195674>
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Lithography for VLSI

edited by Norman G. Einspruch, R.K. Watts. -- Academic Press, 1987. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; v. 16). <BB21195674>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 621.38/EIN/16 39040147271 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 621.38/EIN/16
資料ID 39040147271
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Lithography for VLSI / edited by Norman G. Einspruch, R.K. Watts
出版・頒布事項 Orlando ; Tokyo : Academic Press , 1987
形態事項 xi, 361 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0122341163
書誌構造リンク VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch <BB20125509> v. 16//b
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注記 Includes bibliographies and index
NCID BA01291241
本文言語コード 英語
著者標目リンク Einspruch, Norman G. <AU00057848>
著者標目リンク Watts, R. K. (Roderick K.), 1939- <AU00273756>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC19:621.381/73 s
分類標目 DC19:621.381/73
件名標目等 Integrated circuits -- Very large scale integration
件名標目等 Printed circuits
件名標目等 Lithography
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