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VLSI metallization

edited by Norman G. Einspruch, Simon S. Cohen, Gennady Sh. Gildenblat. -- Academic Press, 1987. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; v. 15). <BB21195673>
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VLSI metallization

edited by Norman G. Einspruch, Simon S. Cohen, Gennady Sh. Gildenblat. -- Academic Press, 1987. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; v. 15). <BB21195673>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 621.38/EIN/15 39040147260 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 621.38/EIN/15
資料ID 39040147260
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 VLSI metallization / edited by Norman G. Einspruch, Simon S. Cohen, Gennady Sh. Gildenblat
出版・頒布事項 Orlando ; Tokyo : Academic Press , 1987
形態事項 x, 480 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0122341155
書誌構造リンク VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch <BB20125509> v. 15//b
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注記 Includes index
NCID BA01170156
本文言語コード 英語
著者標目リンク Einspruch, Norman G. <AU00057848>
著者標目リンク Cohen, Simon S. <AU00273754>
著者標目リンク Gildenblat, Gennady Sh. <AU00273755>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC19:621.381/73 s
分類標目 DC19:621.381/73
件名標目等 Integrated circuits -- Very large scale integration -- Design and construction
件名標目等 Metallic films
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