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Materials and process characterization

edited by Norman G. Einspruch, Graydon B. Larrabee. -- Academic Press, 1983. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; 6). <BB21195664>
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Materials and process characterization

edited by Norman G. Einspruch, Graydon B. Larrabee. -- Academic Press, 1983. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; 6). <BB21195664>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 621.38/EIN/6 39040147178 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 621.38/EIN/6
資料ID 39040147178
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
Web書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Materials and process characterization / edited by Norman G. Einspruch, Graydon B. Larrabee
出版・頒布事項 New York ; Orlando ; Tokyo : Academic Press , 1983
形態事項 xii, 598 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0122341066
書誌構造リンク VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch <BB20125509> 6//b
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注記 Includes bibliographies and index
NCID BA01084713
本文言語コード 英語
著者標目リンク Einspruch, Norman G. <AU00057848>
著者標目リンク Larrabee, Graydon B., 1932- <AU00273747>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC19:621.381/73
件名標目等 Integrated circuits -- Very large scale integration
件名標目等 Plasma (Ionized gases) -- Industrial applications
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