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Plasma processing for VLSI

edited by Norman G. Einspruch, Dale M. Brown. -- Academic Press, 1984. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; 8). <BB21195665>
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Plasma processing for VLSI

edited by Norman G. Einspruch, Dale M. Brown. -- Academic Press, 1984. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; 8). <BB21195665>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 621.38/EIN/8 39040147191 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 621.38/EIN/8
資料ID 39040147191
コメント
状態
禁帯出区分 一般
予約 0件
Web書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Plasma processing for VLSI / edited by Norman G. Einspruch, Dale M. Brown
出版・頒布事項 New York ; Orlando : Academic Press , 1984
形態事項 xiv, 527 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0122341082
書誌構造リンク VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch <BB20125509> 8//b
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注記 Includes bibliographies and index
NCID BA00536241
本文言語コード 英語
著者標目リンク Einspruch, Norman G. <AU00057848>
著者標目リンク Brown, Dale M. <AU00273748>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC19:621.381/73
件名標目等 Integrated circuits -- Very large scale integration
件名標目等 Plasma (Ionized gases) -- Industrial applications
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