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Ion implantation

Heiner Ryssel and Ingolf Ruge. -- Wiley, 1986. <BB20157921>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 深草.8号館閉架B2 428/RYS-C 18940026132 一般 0件
巻号
所蔵館 深草
配置場所 深草.8号館閉架B2
請求記号 428/RYS-C
資料ID 18940026132
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Ion implantation / Heiner Ryssel and Ingolf Ruge
出版・頒布事項 Chichester [West Sussex] ; New York : Wiley , c1986
形態事項 xvii, 459 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 047110311X
その他の標題 原タイトル:Ionenimplantation
注記 Translation of: Ionenimplantation
注記 Includes index
NCID BA00364146
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Ryssel, Heiner, 1941- <AU00367105>
著者標目リンク Ruge, Ingolf <AU00367106>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC19:621.3815/2
件名標目等 Ion implantation
件名標目等 Semiconductors