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Surface and interface effects in VLSI

edited by Norman G. Einspruch, Robert S. Bauer. -- Academic Press, 1985. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; v. 10). <BB21195666>
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Surface and interface effects in VLSI

edited by Norman G. Einspruch, Robert S. Bauer. -- Academic Press, 1985. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; v. 10). <BB21195666>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 621.38/EIN/10 39040147214 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 621.38/EIN/10
資料ID 39040147214
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
Web書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Surface and interface effects in VLSI / edited by Norman G. Einspruch, Robert S. Bauer
出版・頒布事項 Orlando : Academic Press , 1985
形態事項 xii, 383 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0122341104
書誌構造リンク VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch <BB20125509> v. 10//b
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注記 Includes bibliographical references and index
NCID BA00191092
本文言語コード 英語
著者標目リンク Einspruch, Norman G. <AU00057848>
著者標目リンク Bauer, Robert S. <AU00273749>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 LCC:TK7872.C68
分類標目 DC19:621.3819/5835 s
分類標目 DC19:621.3819/5835
分類標目 DC19:621.381/73 s
分類標目 DC19:621.381512
件名標目等 Semiconductor -- metal boundaries
件名標目等 Electric contacts
件名標目等 Integrated circuits -- Very large scale integration -- Addresses, essays, lectures
件名標目等 Semiconductors -- Surfaces -- Addresses, essays, lectures
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