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VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決
垂井康夫監修 ; 小林稔, 中島蕃著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB20228154>
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VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決
垂井康夫監修 ; 小林稔, 中島蕃著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB20228154>
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巻号
配置場所
請求記号
資料ID
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禁帯出区分
予約
Web書棚
0001
瀬田.自動化書庫
549.7/コミフ
39300033878
一般
0件
予約
Web書棚
巻号
所蔵館
瀬田
配置場所
瀬田.自動化書庫
請求記号
549.7/コミフ
資料ID
39300033878
コメント
状態
禁帯出区分
一般
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書誌詳細
標題および責任表示
VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決 / 垂井康夫監修 ; 小林稔, 中島蕃著
VLSI プロセス ギジュツ : コウブドマリ ノ タメ ノ モンダイテン ト ソノ カイケツ
出版・頒布事項
東京 : 日刊工業新聞社 , 1993.6
形態事項
iv, 4, 143, 2p ; 22cm
巻号情報
ISBN
4526033383
NCID
BN09282610
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
小林, 稔(1932-)||コバヤシ, ミノル <AU00093534>
著者標目リンク
中島, 蕃||ナカジマ, シゲル <AU00093535>
著者標目リンク
垂井, 康夫(1929-)||タルイ, ヤスオ <AU00041728>
分類標目
電子工学 NDC8:549.7
分類標目
NDC7:549.8
件名標目等
集積回路||シュウセキカイロ
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