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プラズマイオンプロセスとその応用

電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編. -- オーム社, 2005. <BB21312385>
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プラズマイオンプロセスとその応用

電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編. -- オーム社, 2005. <BB21312385>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.本館2F開架 549.1/テンフ 30505051318 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.本館2F開架
請求記号 549.1/テンフ
資料ID 30505051318
コメント
状態
禁帯出区分 一般
予約 0件
Web書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 プラズマイオンプロセスとその応用 / 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編
プラズマ イオン プロセス ト ソノ オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : オーム社 , 2005.10
形態事項 xi, 279p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4274201236
注記 文献:章末
NCID BA73952112
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 電気学会||デンキ ガッカイ <AU00027151>
著者標目リンク 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会
デンキ ガッカイ プラズマ イオン コウド リヨウ プロセス チョウサ センモン イインカイ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.1
分類標目 電子工学 NDC9:549.1
件名標目等 イオンビーム加工||イオンビームカコウ
件名標目等 プラズマ物理学||プラズマブツリガク
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