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プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー

上條榮治監修. -- シーエムシー出版, 2002. <BB21171190>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.本館2F開架 549.1/カエフ 30200046906 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.本館2F開架
請求記号 549.1/カエフ
資料ID 30200046906
コメント
状態
禁帯出区分 一般
予約 0件
Web書棚

書誌詳細

標題および責任表示 プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー / 上條榮治監修
プラズマ イオン ビーム オウヨウ ト ナノテクノロジー
出版・頒布事項 東京 : シーエムシー出版 , 2002.3
形態事項 316p ; 26cm
巻号情報
ISBN 4882313472
その他の標題 標題紙タイトル:Ion beam and plasma process for nanotechnology
NCID BA57457178
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 上條, 榮治
カミジョウ, エイジ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.1
分類標目 電子工学 NDC9:549.1
件名標目等 イオンビーム||イオンビーム
件名標目等 プラズマ||プラズマ
件名標目等 ナノテクノロジー||ナノテクノロジー