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半導体ドライエッチング技術

徳山巍編著. -- 産業図書, 1992. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB20147118>
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徳山巍編著. -- 産業図書, 1992. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB20147118>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 549.7/トタハ 39240044236 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 549.7/トタハ
資料ID 39240044236
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 半導体ドライエッチング技術 / 徳山巍編著
ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 産業図書 , 1992.10
形態事項 xiii, 394p : 挿図 ; 22cm
巻号情報
ISBN 9784782856284
書誌構造リンク 集積回路プロセス技術シリーズ||シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ <BB21318561>//a
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注記 監修: 菅野卓雄
NCID BN08137616
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 徳山, 巍(1929-)||トクヤマ, タカシ <AU00046937>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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