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微細加工 : サブミクロン素子への展開

中野朝安 [ほか] 著. -- 東京電機大学出版局, 1989. <BB20088201>
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微細加工 : サブミクロン素子への展開

中野朝安 [ほか] 著. -- 東京電機大学出版局, 1989. <BB20088201>
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No. 巻号 配置場所 請求記号 資料ID コメント 状態 禁帯出区分 予約 Web書棚
0001 瀬田.自動化書庫 549.7/ナトヒ 39040081820 一般 0件
巻号
所蔵館 瀬田
配置場所 瀬田.自動化書庫
請求記号 549.7/ナトヒ
資料ID 39040081820
コメント
状態
禁帯出区分 一般
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 微細加工 : サブミクロン素子への展開 / 中野朝安 [ほか] 著
ビサイ カコウ : サブミクロン ソシ エノ テンカイ
出版・頒布事項 東京 : 東京電機大学出版局 , 1989.3
形態事項 vi, 240p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4501313307
NCID BN03301767
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 中野, 朝安(1923-)||ナカノ, トモヤス <AU00048270>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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